除害装置事業 Abatement equipment Business 제해장치사업 除害設備事業 废气处理业务
熱酸化技術には環境にやさしい電気式を採用しています。
KT1000シリーズヒータ式 KT1000-SeriesHeater Type KT1000 시리즈히터식 KT1000系列加熱器式 KT1000系列电加热式
熱源としてヒータを用いた高効率除害装置
特許を取得している前後スクラバを有し、PE-CVD工程、LP-CVD工程等の排ガス処理に最適です
Highly efficient abatement system using a heater as a heat source.
Equipped with a patented pre- and post- scrubber, it is ideal for exhaust gas treatment in PE-CVD process, LP-CVD process, etc.
열원으로서 히터를 이용한 고효율 제해 장치
특허 취득 전후 스크러버가 있어 PE-CVD 공정, LP-CVD 공정 등의 배기가스 처리에 매우 적합합니다
使用加熱器為熱源的高效率處理設備。
擁有取得專利的前後洗滌器，最適合用於處理PE-CVD製程、LP-CVD製程等的排氣。
通过电热棒作为热源的高效废气处理设备
在产品的前后端设置本公司的专利水喷淋系统，适用于PE-CVD工程、LP-CVD工程等废气处理设备。
KPLシリーズ KPL-Series KPL 시리즈 KPL系列 KPL系列
大気圧プラズマを用いた高効率な除害装置です
安定したアークプラズマの高温により、難分解性のPFCガス（SF6、CF4等）も分解除去します
Highly efficient abatement equipment using atmospheric pressure plasma.Stable high temperature arc plasma decomposes and removes difficult to decompose PFC gases (SF6, CF4, etc.).
대기압 플라즈마를 이용한 고효율 제해 장치입니다
안정된 아크플라즈마의 고온에 의하여 난분해성 PFC가스(SF6, CF4 등)도 분해제거합니다.
此為使用大氣壓電漿的高效率處理設備。
利用穩定直流電漿的高溫，就連難分解性的PFC氣體(SF6、CF4等)也能除去
使用大气压等离子处理方式的高效废气处理设备
通过稳定的电弧等离子产生的高温，分解并去除难分解的PFC气体（SF6、CF4等）
