カンケンテクノ株式会社

除害装置事業 Abatement equipment Business 제해장치사업 除害設備事業废气处理业务

スクラバや熱酸化などの技術を用いた、様々な方式の除害装置をラインナップしています。
熱酸化技術には環境にやさしい電気式を採用しています。

We have a lineup of various types of abatement equipment using technologies such as scrubbers and thermal oxidation. The thermal oxidation technology uses an environmentally friendly electric type.

스크러버와 열산화 등의 기술을 사용한 다양한 방식의 제해장치를 제공하고 있습니다. 열산화기술에서는 환경친화적인 전기식을 채택하고 있습니다.

此為將水洗技術和熱氧化技術精巧融合在同一機台內的除害設備。熱源採用最適合節能的電熱式。

本公司拥有一系列使用水洗喷淋和热氧化等技术的各种方式的废气处理设备。热氧化技术采用节能环保的电加热式。

KT1000シリーズ KT1000-Series KT1000 시리즈 KT1000系列 KT1000系列
KPLシリーズ KPL-Series KPL 시리즈 KPL系列 KPL系列
その他のシリーズ Other Series 기타 시리즈 其他系列其他系列

KT1000シリーズヒータ式 KT1000-SeriesHeater Type KT1000 시리즈히터식 KT1000系列加熱器式 KT1000系列电加热式

熱源としてヒータを用いた高効率除害装置
特許を取得している前後スクラバを有し、PE-CVD工程、LP-CVD工程等の排ガス処理に最適です Highly efficient abatement system using a heater as a heat source.
Equipped with a patented pre- and post- scrubber, it is ideal for exhaust gas treatment in PE-CVD process, LP-CVD process, etc. 열원으로서 히터를 이용한 고효율 제해 장치
특허 취득 전후 스크러버가 있어 PE-CVD 공정, LP-CVD 공정 등의 배기가스 처리에 매우 적합합니다 使用加熱器為熱源的高效率處理設備。
擁有取得專利的前後洗滌器，最適合用於處理PE-CVD製程、LP-CVD製程等的排氣。通过电热棒作为热源的高效废气处理设备
在产品的前后端设置本公司的专利水喷淋系统，适用于PE-CVD工程、LP-CVD工程等废气处理设备。

KT1000MFH-SQ
KT1000MFH
KT1000MFS
KT1000EPS
KT1000MOC

KPLシリーズ KPL-Series KPL 시리즈 KPL系列 KPL系列

大気圧プラズマを用いた高効率な除害装置です
安定したアークプラズマの高温により、難分解性のPFCガス（SF6、CF4等）も分解除去します Highly efficient abatement equipment using atmospheric pressure plasma.Stable high temperature arc plasma decomposes and removes difficult to decompose PFC gases (SF6, CF4, etc.). 대기압 플라즈마를 이용한 고효율 제해 장치입니다
안정된 아크플라즈마의 고온에 의하여 난분해성 PFC가스(SF6, CF4 등)도 분해제거합니다. 此為使用大氣壓電漿的高效率處理設備。
利用穩定直流電漿的高溫，就連難分解性的PFC氣體(SF6、CF4等)也能除去使用大气压等离子处理方式的高效废气处理设备
通过稳定的电弧等离子产生的高温，分解并去除难分解的PFC气体（SF6、CF4等）

KPL-WTR
KPL-C13
KPL-C13-W

KT1000EPS

高濃度H2を含むガスを、安全に処理できる装置です

SiC含むエピタキシャル工程向け除害装置
電気ヒータ式ならではの安全性で、高濃度H2ガス処理に対応
可燃ガスの自燃エネルギーを活用して、可燃ガス導入時ヒータ電力はほぼゼロを達成
燃焼中断がなく流動変動に強い。
入口スクラバで加水分解性・可溶性ガスを事前に除去
出口スクラバで副生成ガスを除害
TCSやDCSのように、水分と反応して固体を生成するガスも閉塞なく処理可能
フェールセーフ機構を標準搭載

Equipment that can safely process gas containing high concentrations of H2

Abatement equipment for Epitaxial process including SiC.
Highly concentrated H2 gas treatment with the safety that only an electric heater type can provide.
No combustion interruptions and high resistance to flow fluctuations.
Inlet scrubber removes hydrolysable and soluble gases in advance.
Gases that react with moisture to form solids, such as TCS and DCS, can be processed without blockages
Exit scrubber removes by-product gases
Equipped with fail-safe mechanism as standard
Compatible with SiC epitaxial

고농도의 H2를 포함한 가스를 안전하게 처리할 수 있는 장치입니다.

SiC 포함 에피택셜(epitaxial) 공정용 제해 장치
전기 히터식으로 안전성이 높고 고농도 H2 가스 처리에 대응
가연가스의 자연에너지를 활용하여 가연가스 도입 시 히터의 전력은 거의 Zero를 달성
연소 중단이 없고 유동 변동에 강함
입구 스크러버에서 가수분해성 및 가용성 가스를 사전에 제거
출구 스크러버에서 부생성가스를 제해
TCS와 DCS와 같이 수분에 반응하여 고체를 생성하는 가스도 막힘없이 처리가능
fail-safe기구를 표준탑재

能够安全处理含有高浓度H2气体的设备

应用于含有SiC的外延制程的废气处理设备
电加热式安全性高，可用于处理高浓度H2
利用可燃气体的自燃能量导入可燃气体时，电加热棒功率几乎为零。
无燃烧中断，流动变动强
通过利用入口喷淋，提前去除废气中的水溶性气体
出口水洗喷淋装置可去除副产物气体
如同TCS和DCS，与水分反应生成固体的气体也可以无堵塞地进行处理
配备故障安全防护装置

為可安全處理含有高濃度H2氣體的設備

適合包含SiC磊晶製程的處理設備。
以電熱式加熱器獨有的安全性，處理高濃度H2氣體。
耐氣體流動、變動，不中斷燃燒。在入口水洗處事先除去水解、可溶性氣體
燃燒不會中斷，耐流動變動。
在入口洗滌器即事先除去水解性、可溶性氣體。
在出口水洗處除害副生成氣體
可處理會和水分反應產生固狀物的氣體，如TCS、DCS，不阻塞
標準搭載失效安全機構

KT1000MOC

MO-CVD装置向け大流量処理除害装置 NH3、H2などを電気ヒータ式熱酸化分解方式で処理

有機金属化合物（MO）ガス、SiH4等も酸化除害
化石燃料等燃料ガスは一切使用しません。また、既存の方式とは全く違う画期的除害方式
大流量NH3,H2の反応熱エネルギーを利用していますので、処理時はヒータ電力を必要としません。徹底した省エネ機構
高熱度のH2やNH3を安全に除害するための、フェールセーフ機構を具備
入口導入管に設置された温度センサーは常時入口ガス温度を監視。入口温度上昇時に、速やかに配管内を緊急希釈する逆炎防止安全機構等、各種の安全機構を具備

Large flow rate treatment and abatement equipment for MO-CVD equipment. Treatment of NH3, H2, etc. using electric heater type thermal oxidation decomposition method.

Oxidation and detoxification of organometallic compound (MO) gas, SiH4, etc.
No fossil fuels or other fuel gases are used. Also, a revolutionary abatement method that is completely different from existing methods.
Since the reaction thermal energy of large flow rates of NH3 and H2 is used, no heater power is required during processing. Thorough energy saving mechanism.
Equipped with a fail-safe mechanism to safely remove high concentrations of H2 and NH3.
A temperature sensor installed in the inlet feed-in pipe constantly monitors the inlet gas temperature. Equipped with various safety mechanisms, such as a backfire prevention safety mechanism that quickly and urgently dilutes the gas in the piping when the inlet temperature rises.

MO-CVD 장치용 대유량 처리 제해 장치 NH3, H2 등을 전기히터식 열산화분해 방식으로 처리

유기금속화합물(MO)가스, SiH4등도 산화제거
화석연료등의 연료가스는 전혀 사용하지 않습니다. 또한 기존의 방식과 전혀 다른 획기적인 제해방식입니다.
대유량NH3, H2의 반응열 에너지를 이용하고 있기 때문에 처리할 때에는 히터전력이 필요하지 않습니다. 에너지 절약에 철저한 기구
고농도의 H2와 NH3를 안전하게 제해하기 위한 Fail-Safe기구를 구비
입구 도입관에 설치된 온도센서는 입구 가스온도를 상시 감시. 입구 온도상승 시 신속하게 배관 속을 긴급 희석하는 역화방지안전기구 등 각종 안전기구를 구비

面向MO-CVD设备的大流量废气处理设备通过电热式热氧化分解方式处理NH3、H2

有机金属化合物(MO)气体、SiH4等也进行氧化去除
完全不使用化石燃料等燃料气体。同时，这是完全不同于现有方式的划时代的废气处理方式。
由于利用了大流量NH3、H2的反应热能，处理时无需加热器的电能。彻底的节能构造
具备安全去除高浓度的H2和NH3的故障安全防护装置
安装在入口进气管中的温度传感器可实时监测入口气体的温度。具备可确保在入口温度上升时迅速对管道内进行紧急稀释的防回火安全装置等，各种安全装置。

適用於MO-CVD製程的大流量處理設備。用電熱式加熱器以熱氧化分解方式處理NH3、H2等。

有機金屬化合物(MO)氣體、SiH4等也能氧化除害
一切不使用化石燃料等燃料氣體。劃時代的除害方式和既有方式完全不同
使用大流量NH3、H2的反應熱能量，處理時加熱器不需要電力，徹底節能機構
為了安全除害高濃度的H2或NH3，具有失效安全機構
入口導入管設有溫度感測器，常時監視入口氣體溫度。設備內具有當入口溫度上昇時，會迅速緊急稀釋管路內的防回火安全機構等各種安全機構

KT1000HBD

ハイブリッド式除害装置とは電気ヒータを着火源とし、燃料の燃焼熱により排ガスを処理する装置です難分解性のCF4やハロゲンガスを含む大流量ガス(最大600slm)を高効率で処理可能なEtch工程に特化した装置です

電気ヒータで燃料を着火、蓄熱炉で最大限燃焼熱を活用することにより失火リスクが無い
通常の燃焼式と比較して排気量が少なく、ダストや水分による後段設備配管への影響を抑制

Hybrid type abatement equipment uses an electric heater as the ignition source and treats exhaust gas by combustion heat of fuel. This equipment is specialized for the Etch process and can treat high efficiently large flow rates (up to 600slm) of gases including persistent CF4 and halogen gases.

No risk of misfire by using an electric heater to ignite fuel and a thermal storage furnace to maximize the use of combustion heat.
Compared to conventional burn type, it produces less exhaust and reduces the impact of dust and moisture on the piping of latter part equipment.

"하이브리드식 제해장치란 전기히터를 착화원으로 하여 연료의 연소열에 의해 배기가스를 처리하는 장치입니다." 난분해성 CF4나 할로겐 가스를 포함한 대유량 가스(최대 600slm)를 고효율로 처리 가능한 Etch 공정에 특화된 장치입니다"

전기 히터로 연료를 착화하여, 축열로에서 최대한 연소열을 활용함으로써 실화 리스크가 없음
통상적인 연소식과 비교하여 배기량이 적고, 먼지나 수분에 의한 후단 설비 배관에의 영향을 억제

HBD废气处理设备是以电加热棒作热源，通过燃料的燃烧热量来处理废气。这是一种主要针对刻蚀工艺的设备，可高效处理大流量气体(最大600slm)，包括难分解CF4和卤素气体。

用电加热棒点燃燃料，通过蓄热炉最大限度地利用燃烧热量，没有熄火的风险。
与常规燃烧式设备相比较，排气量少，可降低粉尘和水分对后段管道的影响

混合式處理設備以電熱式加熱器為點火源，以燃料的燃燒熱處理排氣。就算是有難以分解的CF4或鹵素氣體的大流量氣體(最大600slm)，也能以高效率處理，特別適合用於蝕刻製程。

用電熱式加熱器將燃料點火。用蓄熱爐充分活用燃燒熱，沒有熄火風險。
和一般的燃燒式相比排氣量較少，減少因粉塵或水分對後段設備管路的影響。